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CF35和CF16 两种超高真空全金属阀门
1、全金属阀门漏率好于E-13 Pa.M3/S,用于真空度好于E-11Pa的超高真空系统;
2、开关次数:大于2万次;
3、耐烘烤温度:打开450 ℃, 关闭300 ℃;
4、端面无氧铜密封块:可拆卸更换。
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1、全金属阀门漏率好于E-13 Pa.M3/S,用于真空度好于E-11Pa的超高真空系统;
2、开关次数:大于2万次;
3、耐烘烤温度:打开450 ℃, 关闭300 ℃;
4、端面无氧铜密封块:可拆卸更换。