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有机分子束外延设备
该设备由生长室、预处理室、真空系统等组成;
真空系统由机械泵、分子泵和离子泵等组成;
生长室由十个MASK箱、上下液氮冷阱、样品架三维工作台、磁力送样杆和加热部件等组成。

预处理室主要包括MASK箱、送样杆、样品台、送样机构、手套箱接口、退火炉等。

该设备主要用于生长有机分子发光膜。

极限真空度:好于E-8Pa ,样品加热温度150oC,束源炉温控精度±1oC
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